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高精度拋光機是一種用于對金屬、半導體或光學元件表面進行平坦化處理的設備,廣泛應用于集成電路、精密模具及光學鏡片制造領域。其核心價值在于通過化學機械拋光工藝,獲得納米級表面粗糙度。以下是關于高精度拋光機各組成部件功能特點的具體介紹。1、拋光盤與驅動系統拋光盤采用高強度鋁合金或不銹鋼,表面粘貼聚氨酯拋光墊。其功能特點在于由伺服電機驅動,轉速可調(0-200rpm),旋轉平穩,端面跳動小于0.01mm。...
查看更多2016-09-19
2016-08-19
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