
技術(shù)文章
P產(chǎn)品分類(lèi)RODUCT CATEGORY
高精度拋光系統(tǒng)是半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片、藍(lán)寶石襯底、硬盤(pán)基板及精密模具制造中實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面粗糙度與亞微米面形精度的關(guān)鍵裝備,廣泛應(yīng)用于集成電路、激光器、航空航天及消費(fèi)電子領(lǐng)域。高精度拋光系統(tǒng)性能源于多模塊的精密協(xié)同,每一部件均體現(xiàn)“超穩(wěn)運(yùn)動(dòng)、智能控制、潔凈環(huán)境、柔性工藝”的制造理念。一、主軸與拋光頭系統(tǒng)空氣靜壓電主軸:轉(zhuǎn)速0–3000rpm無(wú)級(jí)可調(diào),徑向跳動(dòng)≤0.1μm,無(wú)機(jī)械摩擦,避免振動(dòng);多自由...
查看更多2018-09-03
2018-08-02
2018-07-12
2018-06-19
2018-06-06
2018-05-30
2018-04-23
2018-02-26
2017-12-14
2017-09-21
010-82630761
kang_logitechchina@163.com
010-82630779
版權(quán)所有 © 2026 北京華沛智同科技發(fā)展有限公司 All Rights Reserved 備案號(hào):京ICP備11011015號(hào)-2
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml