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技術(shù)文章

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聚焦核心技術(shù)：化學機械拋光設(shè)備關(guān)鍵組成部件及其功能特點介紹
20269-4

半導(dǎo)體與精密晶圓加工中，平整化處理是保障芯片制程精度的關(guān)鍵工序。化學機械拋光設(shè)備結(jié)合化學腐蝕與機械研磨原理，實現(xiàn)工件表面超平整加工。熟悉設(shè)備各單元結(jié)構(gòu)與作用，可規(guī)范使用化學機械拋光設(shè)備，有效提升工件拋光品質(zhì)與工藝穩(wěn)定性。1、拋光工作臺組件工作臺是工件拋光的承載基礎(chǔ)，臺面搭載專用拋光墊，表面紋理均勻，可貼合工件完成均勻研磨。工作臺運行轉(zhuǎn)速平穩(wěn)，可根據(jù)工藝需求調(diào)節(jié)運轉(zhuǎn)速度，保證工件各區(qū)域拋光力度一致。...

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  • 化學拋光設(shè)備能夠處理表面強化處理、降低金屬零件表面粗糙度、光亮拋光、鏡面拋光等難題，鎖使用的電機轉(zhuǎn)速就比較低，摩擦產(chǎn)生熱有可能燒毀物件。所使用的拋光輔料偏軟、偏細等等。又能換上拋光盤做車漆護埋。化學拋光設(shè)備較重，為2-3kg，但工作起來非常...

    2016-12-22

  • 金剛石是一種純碳物質(zhì)，也是鉆石的原石。近年來，隨著開發(fā)技術(shù)難題的攻克，具有晶瑩質(zhì)感的鉆石不僅僅是女孩們的zui愛，也成為工程師的朋友。由于金剛石的性能，金剛石納米薄膜已經(jīng)在MEMS、表面聲波（SAW）器件、熱量管理及摩擦涂層等方面得到廣泛應(yīng)...

    2016-10-28

  • 氣體分析質(zhì)譜儀多用于生產(chǎn)研究之中來監(jiān)測氣體和進行過程分析，氣體分析質(zhì)譜儀應(yīng)用的領(lǐng)域十分廣泛：如真空科學工業(yè)中加速器、高真空、超高真空系統(tǒng)和器件中的氣體分析，航天航空工業(yè)中燃料箱、發(fā)動機、密封倉安全檢漏、多種氣體分析；電子工業(yè)中真空鍍膜、微波...

    2016-08-29

  • 摘要：對比觀察了不同工藝條件下金剛石線鋸和砂漿線鋸切割晶體Si片的表面微觀形貌；分析了其切割機理及去除模式；對比分析了三種不同化學方法鈍化Si片的效果和穩(wěn)定性；采用逐層腐蝕去除Si片的損傷層，使用碘酒對其進行化學鈍化，然后測試其少子壽命，分...

    2016-08-09

  • 研磨指通過研磨的方法，除去切片和輪磨所造成的硅片表面鋸痕及表面的損傷層，有效改善單晶硅片的翹曲度、平坦度與平行度，達到一個拋光過程可以處理的規(guī)格。硅片研磨質(zhì)量直接影響到拋光質(zhì)量及拋光工序的整體效率，甚至影響到IC的性能。硅片研磨加工模型如圖...

    2016-05-05

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